技術領域
本發(fā)明關于一種LED 晶粒核心BIN產(chǎn)品整片抽測方式(各電性、光學特性檢驗),該系統(tǒng)中打破慣性思維的先翻膜后分片的抽測方法,采用先整片抽測晶圓后翻膜分片矩陣抽測的工藝方法。
背景技術
在LED晶圓完成分類挑揀成為某一電性光學等級的成品后,會先使用點測設備對成品晶粒進行抽測,以便確保各晶粒的電性、光學特性是與分類挑選的要求一致,同時是保證產(chǎn)品出貨的品質。
然而,目前核心BIN產(chǎn)品現(xiàn)有的抽測檢驗實施方式是:先將核心BIN翻膜分片,再由點測設備對LED成品所有晶粒進行坐標全掃描,最后進行矩陣抽測?,F(xiàn)我司核心BIN產(chǎn)品分為三片后抽測,所以一張4寸核心BIN產(chǎn)品要做三次全掃描+矩陣抽測(圖1),掃描時間和上下片時間耗時較長。
圖1
而這種做3次全掃描+矩陣抽測的方式,掃描的時間占了機臺運行的大部分時間,而真正點測的時間實際很少,造成效率低下。因此,若能夠將晶粒掃描次數(shù)變少,將上下片時間降到最低,同時亦可節(jié)省抽測機臺設備,即減少制造成本和人力成本,為最佳解決方案。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的即在于提供一種LED成品晶粒抽測的新方式,分選下機后整片抽測晶圓系統(tǒng)賦予各子片抽測信息,能夠將抽測掃描時間和上下片時間縮短。
本發(fā)明所提供的一種 LED成品電性參數(shù)抽測的運作方法,與變更前工藝方法更具優(yōu)勢:
首先,所述的LED 晶粒核心BIN產(chǎn)品整片抽測方式,是全新的抽測方式,打破先分片翻膜后抽測的慣性思維,改進為在字母環(huán)上抽測后分片。
其次,所述的LED晶粒核心BIN產(chǎn)品整片抽測方式,有效降低抽測掃描時間、上下片時間和同等產(chǎn)能下可節(jié)省設備臺數(shù)的優(yōu)勢,生產(chǎn)效率可大幅度提高;節(jié)約機臺&人員成本。
最后,此工藝運作方法,LED 成品的抽測異常追訴準確度大大提高,漏出率極低。
附圖說明
為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖2是本發(fā)明實施核心BIN產(chǎn)品整片抽測掃描和測試的顯示圖:
如圖所示,本發(fā)明可實現(xiàn)整片掃描,矩陣電性測試,有效降低抽測上下片時間和掃描時間。
圖2